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magnamite

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楼主发表于: 2017-07-10 09:37

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How to Tame the Aggressiveness of Liquid Silicon in the LSI Process

【作者】B. Mainzer, K. Kelm, P. Watermeyer, M. Frieß, D. Koch
【文章标题】How to Tame the Aggressiveness of Liquid Silicon in the LSI Process
【期刊名，年份，卷（期），起止页*****】Key Engineering Materials, Vol. 742, pp. 238-245, 2017
【全文链接】 https://www.scientific.net/KEM.742.238
DOI 10.4028/www.scientific.net/KEM.742.238

[ 此帖被magnamite在2017-07-10 09:59重新编辑 ]

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