基于差分吸收光谱技术的氯气在线监测系统研制

1 论文标题：基于差分吸收光谱技术的氯气在线监测系统研制

2 出处和链接：基于差分吸收光谱技术的氯气在线监测系统研制[J]. 应用物理, 2023, 13(11): 421-429. https://doi.org/10.12677/APP.2023.1311045

3 摘要：氯气是一种重要的工业气体，广泛应用于集成电路、半导体、光伏等电子工业领域。氯气也是一种剧毒性、强腐蚀性的黄绿色气体，人体长期接触会引起呼吸道的严重损伤。本文基于差分吸收光谱技术研制了一套氯气在线监测系统，用于工业过程中氯气浓度的在线测量，监测数据可用于生产、治理过程控制，可以减少氯气的排放。