离子镀膜机与蒸发镀膜机、溅射镀膜机相比,最大的特点是荷能离子一边轰击基体与膜层,一边进行沉积。荷能离子的轰击作用所产生一系列的效应,利用离子镀技术可以在金属、合金、导电材料甚至非导电材料(采用高频偏压)基体上进行镀膜。离子镀沉积的膜层可以是金属膜、多元合金膜、化合物膜;既可镀单一镀层,也可镀复合膜层;还可以镀梯度镀层和纳米多层镀层。采用不同的膜材,不同的反应气体以及不同的工艺方法和参数,可以获得表面强化的硬质耐磨镀层,致密且化学性质稳定的耐蚀镀层,固体润滑层,各种色泽的装饰镀层以及电子学、光学、能源科学等所需的特殊功能镀层。离子镀技术和离子镀的镀层产品已得到非常广泛的应用。
来源于:东莞市汇成真空科技有限公司
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