摘 要 本文展望了21世纪微电子技术的发展趋势。认为： 21世纪初的微电子技
术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展
；集成电路将逐步发展成为集成系统；微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增
长点，例如微机电系统（MEMS）、DNA芯片等。具体地讲，SOC设计技术、超微细光刻技
术、虚拟工厂技术、铜互连及低K互连绝缘介质、高K栅绝缘介质和栅工程技术、SOI技
术等将在近几年内得到快速发展。21世纪将是我国微电子产业的黄金时代。
关键词 微电子技术 集成系统 微机电系统 DNA芯片
1 引 言
综观人类社会发展的文明史，一切生产方式和生活方式的重大变革都是由于新的科
学发现和新技术的产生而引发的，科学技术作为革命的力量，推动着人类社会向前发展
。从50多年前晶体管的发明到目前微电子技术成为整个信息社会的基础和核心的发展历
史充分证明了“科学技术是第一生产力”。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍
形式，与材料和能源一起是人类社会的重要资源，但对它的利用却仅仅是开始。当前面
临的信息革命以数字化和网络化作为特征。数字化大大改善了人们对信息的利用，更好
地满足了人们对信息的需求；而网络化则使人们更为方便地交换信息，使整个地球成为
一个“地球村”。以数字化和网络化为特征的信息技术同一般技术不同，它具有极强的
渗透性和基础性，它可以渗透和改造各种产业和行业，改变着人类的生产和生活方式，
改变着经济形态和社会、政治、文化等各个领域。而它的基础之一就是微电子技术。可
以毫不夸张地说，没有微电子技术的进步，就不可能有今天信息技术的蓬勃发展，微电
子已经成为整个信息社会发展的基石。
50多年来微电子技术的发展历史，实际上就是不断创新的过程，这里指的创新包括原始
创新、技术创新和应用创新等。晶体管的发明并不是一个孤立的精心设计的实验，而是
一系列固体物理、半导体物理、材料科学等取得重大突破后的必然结果。1947年发明点
接触型晶体管、1948年发明结型场效应晶体管以及以后的硅平面工艺、集成电路、CMOS
技术、半导体随机存储器、CPU、非挥发存储器等微电子领域的重大发明也都是一系列
创新成果的体现。同时，每一项重大发明又都开拓出一个新的领域，带来了新的巨大市
场，对我们的生产、生活方式产生了重大的影响。也正是由于微电子技术领域的不断创
新，才能使微电子能够以每三年集成度翻两番、特征尺寸缩小倍的速度持续发展几十年
。自1968年开始，与硅技术有关的学术论文数量已经超过了与钢铁有关的学术论文，所
以有人认为，1968年以后人类进入了继石器、青铜器、铁器时代之后硅石时代（
silicon age）〖1〗。因此可以说社会发展的本质是创新，没有创新，社会就只能被囚
禁在“超稳态”陷阱之中。虽然创新作为经济发展的改革动力往往会给社会带来“创造
性的破坏”，但经过这种破坏后，又将开始一个新的处于更高层次的创新循环，社会就
是以这样螺旋形上升的方式向前发展。
在微电子技术发展的前50年，创新起到了决定性的作用，而今后微电子技术的发展
仍将依赖于一系列创新性成果的出现。我们认为：目前微电子技术已经发展到了一个很
关键的时期，21世纪上半叶，也就是今后50年微电子技术的发展趋势和主要的创新领域
主要有以下四个方面：以硅基CMOS电路为主流工艺；系统芯片（System On A Chip，
SOC）为发展重点；量子电子器件和以分子（原子）自组装技术为基础的纳米电子学；
与其他学科的结合诞生新的技术增长点，如MEMS，DNA Chip等。
2 21世纪上半叶仍将以硅基CMOS电路为主流工艺
微电子技术发展的目标是不断提高集成系统的性能及性能价格比，因此便要求提高
芯片的集成度，这是不断缩小半导体器件特征尺寸的动力源泉。以MOS技术为例，沟道
长度缩小可以提高集成电路的速度；同时缩小沟道长度和宽度还可减小器件尺寸，提高
集成度，从而在芯片上集成更多数目的晶体管，将结构更加复杂、性能更加完善的电子
系统集成在一个芯片上；此外，随着集成度的提高，系统的速度和可靠性也大大提高，
价格大幅度下降。由于片内信号的延迟总小于芯片间的信号延迟，这样在器件尺寸缩小
后，即使器件本身的性能没有提高，整个集成系统的性能也可以得到很大的提高。
自1958年集成电路发明以来，为了提高电子系统的性能，降低成本，微电子器件的特征
尺寸不断缩小，加工精度不断提高，同时硅片的面积不断增大。集成电路芯片的发展基
本上遵循了Intel公司创始人之一的Gordon E．Moore 1965年预言的摩尔定律，即每隔
三年集成度增加4倍，特征尺寸缩小倍。在这期间，虽然有很多人预测这种发展趋势将
减缓，但是微电子产业三十多年来发展的状况证实了Moore的预言[2]。而且根据我们的
预测，微电子技术的这种发展趋势还将在21世纪继续一段时期，这是其它任何产业都无
法与之比拟的。
现在，0．18微米CMOS工艺技术已成为微电子产业的主流技术，0．035微米乃至0．
020微米的器件已在实验室中制备成功，研究工作已进入亚0．1微米技术阶段，相应的
栅氧化层厚度只有2．0～1．0nm。预计到2010年，特征尺寸为0．05～0．07微米的
64GDRAM产品将投入批量生产。
21世纪，起*****是21世纪上半叶,微电子生产技术仍将以尺寸不断缩小的硅基CMOS工
艺技术为主流。尽管微电子学在化合物和其它新材料方面的研究取得了很大进展；但还
不具备替代硅基工艺的条件。根据科学技术的发展规律，一种新技术从诞生到成为主流
技术一般需要20到30年的时间，硅集成电路技术自1947年发明晶体管1958年发明集成电
路,到60年代末发展成为大产业也经历了20多年的时间。另外，全世界数以万亿美元计
的设备和技术投入，已使硅基工艺形成非常强大的产业能力；同时，长期的科研投入已
使人们对硅及其衍生物各种属性的了解达到十分深入、十分透彻的地步，成为自然界
100多种元素之最，这是非常宝贵的知识积累。产业能力和知识积累决定了硅基工艺起
*****将在50年内仍起重要作用，人们不会轻易放弃。
目前很多人认为当微电子技术的特征尺寸在2015年达到0．030～0．015微米的“极限”
之后，将是硅技术时代的结束，这实际上是一种误解。且不说微电子技术除了以特征尺
寸为代表的加工工艺技术之外，还有设计技术、系统结构等方面需要进一步的大力发展
，这些技术的发展必将使微电子产业继续高速增长。即使是加工工艺技术，很多著名的
微电子学家也预测，微电子产业将于2030年左右步入像汽车工业、航空工业这样的比较
成熟的朝阳工业领域。即使微电子产业步入汽车、航空等成熟工业领域，它仍将保持快
速发展趋势，就像汽车、航空工业已经发展了50多年仍极具发展潜力一样。
随着器件的特征尺寸越来越小，不可避免地会遇到器件结构、关键工艺、集成技术
以及材料等方面的一系列问题，究其原因，主要是：对其中的物理规律等科学问题的认
识还停留在集成电路诞生和发展初期所形成的经典或半经典理论基础上，这些理论适合
于描述微米量级的微电子器件，但对空间尺度为纳米量级、空间尺度为飞秒量级的系统
芯片中的新器件则难以适用；在材料体系上，SiO2栅介质材料、多晶硅／硅化物栅电极
等传统材料由于受到材料特性的制约，已无法满足亚50纳米器件及电路的需求；同时传
统器件结构也已无法满足亚50纳米器件的要求，必须发展新型的器件结构和微细加工、
互连、集成等关键工艺技术。具体的需要创新和重点发展的领域包括：基于介观和量子
物理基础的半导体器件的输运理论、器件模型、模拟和仿真软件，新型器件结构，高k
栅介质材料和新型栅结构，电子束步进光刻、13nmEUV光刻、超细线条刻蚀，SOI、GeSi
／Si等与硅基工艺****************容的新型电路，低K介质和Cu互连以及量子器件和纳米电子器件的
制备和集成技术等。
