6 结 语
在微电子学发展历程的前50年中，创新和基础研究曾起到非常关键的决定性作用。
而随着器件特征尺寸的缩小、纳米电子学的出现、新一代SOC的发展、MEMS和DNA芯片的
崛起，又提出了一系列新的课题，客观需求正在“召唤”创新成果的诞生。
回顾20世纪后50年，展望21世纪前50年，即百年的微电子科学技术发展历程，使我们深
切地感受到，世纪之交的微电子技术对我们既是一个重大的机遇，也是一个严峻的挑战
，如果我们能够抓住这个机遇，立足创新，去勇敢地迎接这个挑战，则有可能使我国微
电子技术实现腾飞，在新一代微电子技术中拥有自己的知识产权，促进我国微电子 产
业的发展，为迎接21世纪中叶将要到来的伟大的民族复兴奠定技术基础，以重铸中华民
族的辉煌！
参考文献
[1]S.M.SZE:Lecture note at Peking University,Four Decades of Developments in
Microelectronics:Achievements and challenges.
[2]Bob Schaller.The Origin,Nature and lmplication of“Moore’s Law”,http//
www.advtech.micrisoft.com/research/barc/gray/moore.law.html.1996.[3]张兴、郝一龙、李志宏、王阳元。跨世纪的新技术－微电子机械系统。电子科技导
报，1999，4：2
[4]Nicholas Wade Where Computers and Biology Meet:Making a DNA Chip.New York
Times,April 8,1997
技导报，1999，4：2
[4]Nicholas Wade Where Computers and Biology Meet:Making a DNA Chip.New York
Times,April 8,1997
