自2010年1月20日起至2010年11月18日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下：
采购人名称：中国科学院微电子研究所
采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司
项目联系人：窦志超
联系电话：010-68725599-8447
包号 仪器设备名称 中标供应商名称 中标金额
第二批
第1包 等离子体喷涂实验系统 廊桥实业（香港）有限公司 52.876万美元
第三批
第1包 高分辨率场发射扫描电镜 天美（中国）科学仪器有限公司 107.0700万美元
第六批
第1包 等离子体增强化学气相沉积系统 伯东企业（上海）有限公司 19.7万美元
第七批
第2包 涂胶显影机 沈阳芯源微电子设备有限公司 295万人民币
第4包 步进光刻机 上海微高精密机械工程有限公司 398万人民币
第5包 光学轮廓仪 维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司 11.2万美元
第6包 电子束蒸发台 爱韩华（无锡）电子有限公司 165万人民币
第8包 全自动清洗机 弘塑科技股份有限公司 63万美元
第9包 等离子去胶机 Mattson Technology Inc 37.5万美元
第八批
第1包 信号分析仪 安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司 12.15万美元
第九批
第1包 超低能离子注入机 维利安精密仪器维修（上海）有限公司 199万美元
第2包 金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机 Lam Research International Sarl 380万美元
第3包 化学机械研磨机 汉民科技股份有限公司 168万美元
第4包 单片清洗机、单片湿法腐蚀设备 Lam Research International Sarl 165万美元
第5包 单片清洗机 盛美半导体设备（上海）有限公司 44万美元
第十批
第1包 化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线 铨億机械股份有限公司 50.5万美元
第2包 半自动曝光机 上海欧托科国际贸易有限公司 42.52万美元
第3包 机械钻孔机 金富宝亚太有限公司 13.80万美元
第5包 真空压膜机 联策科技（股份）有限公司 40.251万美元
第6包 封装基板等离子清洗机 盈泰国际（集团）有限公司 13万美元
第7包 精密压机 博可机械（上海）有限公司 14.58万美元
第8包 化铜线、镀铜线 安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司 人民币280万元
第十一批
第1包 半自动清洗机 北京七星华创电子股份有限公司 人民币160万元
第2包 扩散炉系统 北京七星华创电子股份有限公司 人民币405万元
第3包 多晶硅低压化学气相淀积系统 镭社有限公司 45.05万美元
第4包 膜厚仪 Spectramax International Limited 美元31.80万元
第6包 多晶硅刻蚀机 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 人民币1139.4942万元
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